本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪(EDS)特性最重要的量值。此标准仅适用于国态电离作用原理的半导体探测器EDS。此标准只规定了与电子探针(EPMA)或扫描电镜(SEM)联用的此类EDS的最低要求,至于如何实现分析则不在此标准的规定范围之内。
半导体探测器X射线能谱仪通则标准号为GB/T 20726-2006,发布日期:2006-12-25、实施日期:2007-08-01,所属行业分类化工技术。
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