本标准规定了物理气相沉积TiN薄膜的技术要求。此标准适用于物理气相沉积TiN薄膜，也适用于其他方法制备的TiN薄膜。此标准也适用于其他材料沉积层(TiC，TiCN，TiAIN等)。
物理气相沉积TiN薄膜技术条件标准号为GB/T 18682-2002，发布日期：2002-03-10、实施日期：2002-08-01，所属行业分类机械制造。
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GB/T 18682-2002
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*本标准 GB/T 18682-2002 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。