本标准规定了含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。
本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。
含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型标准号为GB/T 37959-2019，发布日期：2019-08-30、实施日期：2020-03-01，所属行业分类信息技术、办公机械。
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GB/T 37959-2019
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*本标准 GB/T 37959-2019 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。