本标准规定了可用于定量描述圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。
本标准适用于标称直径100mm~200mm的硅片，也适用于其他半导体材料晶片。
晶片通用网格规范标准号为GB/T 16595-2019，发布日期：2019-03-25、实施日期：2020-02-01，所属行业分类电气工程。
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GB/T 16595-2019
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*本标准 GB/T 16595-2019 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。