本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。
本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。
确定晶片坐标系规范标准号为GB/T 16596-2019，发布日期：2019-03-25、实施日期：2020-02-01，所属行业分类电气工程。
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GB/T 16596-2019
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*本标准 GB/T 16596-2019 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。