本标准规定了电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定电子级多晶硅中痕量基体金属杂质含量的方法。
本标准适用于GB/T 12963中在基体金属杂质小于5ng/g范围内铁、铬、镍、铜、锌、钠含量的测定。
电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法标准号为GB/T 37049-2018，发布日期：2018-12-28、实施日期：2019-04-01，所属行业分类冶金。
本文网址：https://www.171zz.com/document/264805.html
GB/T 37049-2018
下载需要10积分，会员免费下载。
*本标准 GB/T 37049-2018 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。