本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。
本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量（原子数）测定范围为
0.01X1018cm-3~5X1015cm-3。
硅多晶真空区熔基硼检验方法标准号为GB/T 4060-2018，发布日期：2018-09-17、实施日期：2019-06-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 4060-2018
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*本标准 GB/T 4060-2018 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。