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GB/T 25915.9-2018

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*本标准 GB/T 25915.9-2018 仅供参考,使用标准请以正式出版的标准版本为准。

GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中,按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A~附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。

本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面,如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级(SCP)限于粒径0.05m~500m的粒子。

本部分对以下事项未予考虑:

——特定工艺的洁净度及适合性要求;

——表面的清洁步骤;

——材料特性;

——涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项;

——分级和测试统计方法的选择和使用;

——粒子的其他特性,如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。

洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级标准号为GB/T 25915.9-2018,发布日期:2018-06-07、实施日期:2018-10-01,所属行业分类环保、保健和安全。

GB/T 25915.9-2018

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