本标准规定了俄歇电子能谱仪（Auger electron spectrometer）的检定方法。
本标准适用于激发源为电子束，且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。
俄歇电子能谱仪检定方法标准号为GB/T 35158-2017，发布日期：2017-12-29、实施日期：2018-11-01，所属行业分类化工技术。
本文网址：https://www.171zz.com/document/268147.html
GB/T 35158-2017
下载需要10积分，会员免费下载。
*本标准 GB/T 35158-2017 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。