本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。
本标准适用于半导体制造用气体的处理。
半导体制造用气体处理指南标准号为GB/T 34971-2017，发布日期：2017-11-01、实施日期：2018-02-01，所属行业分类化工技术。
本文网址：https://www.171zz.com/document/268251.html
GB/T 34971-2017
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*本标准 GB/T 34971-2017 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。
本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。
本标准适用于半导体制造用气体的处理。
半导体制造用气体处理指南标准号为GB/T 34971-2017，发布日期：2017-11-01、实施日期：2018-02-01，所属行业分类化工技术。
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