本标准规定了纳米尺度相变存储单元读写擦参数的晶圆测试规范,其测试结果可用于表征相变存储材料或器件的电学可操作性能。
本标准适用于以硫系化合物为主要原料,基于半导体晶圆工艺加工制造的电极尺度小于100nm的相变存储单元,100nm~300nm的相变存储单元也可参照此标准执行。
本标准不适用于包含外围驱动电路的存储单元。
纳米技术 晶圆级纳米尺度相变存储单元电学操作参数测试规范标准号为GB/T 33657-2017,发布日期:2017-05-12、实施日期:2017-12-01,所属行业分类电子学。
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