本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。本方法适用于测定金属上厚度为1nm~10000nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。
表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜标准号为GB/T 32996-2016，发布日期：2016-10-13、实施日期：2017-09-01，所属行业分类化工技术。
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