本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。此标准适用于硅基MEMS制造技术中基于背腔腐蚀和硅一玻璃键合的体硅压阻加工工艺的加工和质量检验。
硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范标准号为GB/T 32815-2016，发布日期：2016-08-29、实施日期：2017-03-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 32815-2016
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*本标准 GB/T 32815-2016 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。