本标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。此标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。
硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范标准号为GB/T 32816-2016，发布日期：2016-08-29、实施日期：2017-03-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 32816-2016
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*本标准 GB/T 32816-2016 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。