本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。此标准适用于硅基MEMS制造技术中基于S0I硅片的MEMS器件的加工和质量检验。
硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范标准号为GB/T 32814-2016，发布日期：2016-08-29、实施日期：2017-03-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 32814-2016
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*本标准 GB/T 32814-2016 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。