本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X-射线能谱仪（EDS）特性最重要的性能参数。此标准仅适用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。此标准规定了与扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程，在ISO 22309和 ASTM E1508 中已有规范，不在此标准范围之内。
微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法标准号为GB/T 20726-2015，发布日期：2015-10-09、实施日期：2016-09-01，所属行业分类化工技术。
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