本标准规定了利用双晶 X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。 此标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。
氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法标准号为GB/T 32188-2015，发布日期：2015-12-10、实施日期：2016-11-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 32188-2015
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*本标准 GB/T 32188-2015 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。