GB／T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉标准号为GB/T 10067.410-2014，发布日期：2014-12-05、实施日期：2015-04-16，所属行业分类机械制造。
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GB/T 10067.410-2014
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*本标准 GB/T 10067.410-2014 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。