本标准规定了利用高分辨X射线衍射测试族氮化物外延片晶格常数的方法。此标准适用于在氧化物衬底（A120、ZnO等）或半导体衬底（GaN、Si、GaAs、SiC等）上外延生长的氮化物（Ga，In，A1）N单层或多层异质外延片晶格常数的测量。其他异质外延片晶格常数的测量也可参考此标准。
Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法标准号为GB/T 30654-2014，发布日期：2014-12-31、实施日期：2015-09-01，所属行业分类冶金。
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