本标准规定了用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的测试方法。此标准适用于外延层厚度不小于某一最小厚度值(见附录A)相同或相反导电类型衬底上的n型或p型外延层的净载流子浓度测量。此标准也适用于硅抛光片的净载流子浓度测量。
用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的方法标准号为GB/T 14863-2013，发布日期：2013-12-31、实施日期：2014-08-15，所属行业分类电气工程。
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