本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。此标准适用于0.01nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。此标准中的漂移测量不适用于图像校正。
扫描探针显微镜漂移速率测量方法标准号为GB/T 29190-2012，发布日期：2012-12-31、实施日期：2013-06-01，所属行业分类计量学和测量、物理现象。
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GB/T 29190-2012
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*本标准 GB/T 29190-2012 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。