本标准规定了应用电子探针或者扫描电镜(SEM)的波谱仪(WDS),通过电子束与试样相互作用产生的X射线对试样徽米尺度体积内的元素进行定量分析的要求。内容包括:定量分析原理;本方法涉及的元素、质量分数和标准物质的一般范围;仪器的一般要求;有关试样制备、实验条件的选择、分析测量等的基本过程及报告。此标准适用于电子束垂直入射,要求定量分析的块状试样表面平滑、均匀。对仪器和数据处理软件没有特殊的要求。使用者应该从仪器制造厂家获得仪器安装条件、详细的操作程序及仪器说明书。
微束分析 电子探针显微分析 块状试样波谱法定量点分析标准号为GB/T 28634-2012，发布日期：2012-07-31、实施日期：2013-02-01，所属行业分类化工技术。
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