本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm的仪器。附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。
表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定标准号为GB/T 28632-2012，发布日期：2012-07-31、实施日期：2013-02-01，所属行业分类化工技术。
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