本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。 此标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。 此标准并未指出所有可能的安全问题,在应用此标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。
利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法标准号为GB/T 27760-2011，发布日期：2011-12-30、实施日期：2012-05-01，所属行业分类试验。
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