本标准规定了溅射离子泵(以下简称离子泵)性能参数的测量方法。此标准适用于名义体积流率大于10L／s的离子泵。此标准测量体积流率的压力范围从1.5X10-3Pa到1X10-7Pa。注:此标准保证了离于泵性能参数的澜量在相同的条件下按相同的方法进行．由此做到由各制造厂家或务实验室所作的测量与制造厂家在样本中给定的资料是可比的。
真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量标准号为GB/T 25755-2010，发布日期：2010-12-23、实施日期：2011-10-01，所属行业分类流体系统和通用件。
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