本标准规定了化学腐蚀后用金相显微镜检测硅片流动图形缺陷的方法。
本标准适用于电阻率大于1Ω·cm的硅片流动图形缺陷的检测。
硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法标准号为GB/T 43315-2023，发布日期：2023-11-27、实施日期：2024-06-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 43315-2023
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*本标准 GB/T 43315-2023 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。