本标准规定了碳基薄膜的分类、命名及简称。此标准所述的碳基薄膜是以碳为主要成分,并由物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)制备所得的薄膜。碳基薄膜包括非晶碳基薄膜〔又称为类金刚石薄膜(DLC)],CVD金刚石薄膜、石墨薄膜和类聚合物碳基薄膜。
本标准适用于工业规模生产的碳基薄膜。此标准不适用于尚未实现工业规模生产的其余种类碳基薄膜。
本标准只涉及碳基薄膜材料,不涉及由主体功能层和上/下附加层组成的复合涂层。
薄膜中各层组分和/或性能随厚度变化的薄膜称为梯度薄膜。此标准涉及的碳基薄膜均指非梯度薄膜。
碳基薄膜可能包含如氢、金属或其他元素。其中金属成分还包含金属碳化物。此标准涵盖的掺杂碳基薄膜只包括以碳元素为主要成分的薄膜体系。对于碳以碳化物形式存在的含碳基薄膜,也不适用于此标准中的金属掺杂非晶碳基薄膜(a-C:Me,a-C:H:Me)体系。
本标准不适用于富勒烯、碳纳米管、石墨烯、石墨炔等碳材料。
碳基薄膜 分类及命名标准号为GB/T 43104-2023,发布日期:2023-09-07、实施日期:2024-04-01,所属行业分类机械制造。
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