本标准规定了六氯乙硅烷的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。
本标准适用于由生产多晶硅副产的六氯乙硅烷经纯化制备的电子用六氯乙硅烷。
电子特气 六氯乙硅烷标准号为GB/T 42720-2023，发布日期：2023-08-06、实施日期：2024-03-01，所属行业分类化工技术。
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GB/T 42720-2023
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*本标准 GB/T 42720-2023 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。