本标准规定了使用基于白光轴向色散特性的共聚焦色差探针测量表面结构的非接触式仪器的设计与计量特性。
产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第602部分：非接触（共聚焦色差探针）式仪器的标称特性标准号为GB/T 33523.602-2022，发布日期：2022-12-30、实施日期：2023-04-01，所属行业分类计量学和测量、物理现象。
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GB/T 33523.602-2022
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*本标准 GB/T 33523.602-2022 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。