本标准描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法，主要包括加工原理、材料与设备、环境条件、加工方法。
本标准适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。
纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法标准号为GB/T 42106-2022，发布日期：2022-12-30、实施日期：2023-07-01，所属行业分类数学、自然科学。
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