本标准描述了氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的二次离子质谱测试方法。
本标准适用于氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的定量测定，测定范围为镁、镓的含量均不小于1×1016cm-3，元素含量（原子个数百分比）不大于1%。
氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法标准号为GB/T 42274-2022，发布日期：2022-12-30、实施日期：2023-04-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 42274-2022
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*本标准 GB/T 42274-2022 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。