本标准规定了刻蚀机用硅电极及硅环的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件以及订货单内容。
本标准适用于p拉硅单晶加工成的刻蚀机用直径200mm~450mm的硅电极及硅环。
刻蚀机用硅电极及硅环标准号为GB/T 41652-2022，发布日期：2022-07-11、实施日期：2023-02-01，所属行业分类电气工程。
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GB/T 41652-2022
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*本标准 GB/T 41652-2022 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。