本标准规定了低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片（以下简称Low-COP抛光片）的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存、随行文件及订货单内容。
本标准适用于对晶体原生凹坑敏感的集成电路用直径为200mm和300mm、晶向、电阻率0.1Ω·cm ~ 100Ω·cm的Low-COP抛光片。
集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片标准号为GB/T 41325-2022，发布日期：2022-03-09、实施日期：2022-10-01，所属行业分类电气工程。
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