本标准规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3 eV时的校准方法,用于识别表面常规元素。另外,此标准还规定了一种用于确定校准周期的方法。
本标准适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%,微分模式调制幅度的峰值为2eV,配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法,具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。
表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准标准号为GB/T 29732-2021,发布日期:2021-12-31、实施日期:2022-07-01,所属行业分类化工技术。
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