本标准界定了微机电装置的通用、科学与工程、材料科学、功能元素、加工技术、键合装配技术、测量技术和应用相关术语。
本标准适用于微机电技术领域。
电工术语 微机电装置标准号为GB/T 2900.104-2021，发布日期：2021-10-11、实施日期：2022-05-01，所属行业分类综合、术语学、标准化、文献。
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GB/T 2900.104-2021
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*本标准 GB/T 2900.104-2021 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。