本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。
本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
注：靶材与背板结合方式包括钎焊（传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。
靶材与背板结合强度测试方法标准号为GB/T 39163-2020，发布日期：2020-11-19、实施日期：2021-10-01，所属行业分类试验。
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GB/T 39163-2020
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*本标准 GB/T 39163-2020 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。