本标准规定了微纳米标准样板(几何量)的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。
本标准适用于线间隔为0.05m~10pm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01m~100m的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2nm~1000nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25nm~1000nm的纳米线宽标准样板。
微纳米标准样板（几何量）标准号为GB/T 39516-2020，发布日期：2020-11-19、实施日期：2021-06-01，所属行业分类计量学和测量、物理现象。
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