本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台（以下简称为平台）的测量条件、测量系统和测量方法。
本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。
基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法标准号为GB/T 38614-2020，发布日期：2020-04-28、实施日期：2020-11-01，所属行业分类综合、术语学、标准化、文献。
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GB/T 38614-2020
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*本标准 GB/T 38614-2020 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。