本标准适用于扫描电子显微镜（SEM）图像清晰度的评价，涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中，评价方法包括傅里叶变换（FT)法、对比梯度（CG）法及微分（DR）法。
微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法标准号为DB44/T 1527-2015，发布日期：2015-01-30、实施日期：2015-04-30，所属行业分类信息传输、软件和信息技术服务业。
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