本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
电子薄膜用高纯钴靶材标准号为YS/T 1053-2015，发布日期：2015-04-30、实施日期：2015-10-01，所属行业分类制造业。
本文网址：https://www.171zz.com/document/147198.html
YS/T 1053-2015
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*本标准 YS/T 1053-2015 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
电子薄膜用高纯钴靶材标准号为YS/T 1053-2015，发布日期：2015-04-30、实施日期：2015-10-01，所属行业分类制造业。
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