本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材，以下简称高纯钨及钨合金靶。
电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材标准号为YS/T 1025-2015，发布日期：2015-04-30、实施日期：2015-10-01，所属行业分类制造业。
本文网址：https://www.171zz.com/document/147049.html
YS/T 1025-2015
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*本标准 YS/T 1025-2015 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。
本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材，以下简称高纯钨及钨合金靶。
电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材标准号为YS/T 1025-2015，发布日期：2015-04-30、实施日期：2015-10-01，所属行业分类制造业。
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