本标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、存贮、订货单(或合同)等内容。 此标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材(以下简称铝靶)。
电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材标准号为GB/T 29658-2013，发布日期：2013-09-06、实施日期：2014-05-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 29658-2013
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*本标准 GB/T 29658-2013 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。