内容简要 本标准规定了4H-N型重掺杂碳化硅衬底（N型掺杂浓度>5×1018cm-3）上同质外延层（掺杂浓度5×1014cm-3-5×1016cm-3）厚度的红外反射测量方法。本标准适用…
4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法标准号为T/IAWBS 007-2018，发布日期：2018-12-06、实施日期：2018-12-17，所属团体名称为中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟。
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T/IAWBS 007-2018
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*本标准 T/IAWBS 007-2018 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。