本标准规定了碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的二次离子质谱测试方法。
本标准适用于碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的定量分析，测定范围为硼含量不小于5X1013cm-3、铝含量不小于5X1013cm-3氮含量不小于5X1015cm-3，元素浓度（原子个数百分比）不大于1%。
注1：碳化硅单晶中待测元素的含量以每立方厘米中的原子数计。
注2:碳化硅单晶中钒杂质含量的测定可参照此标准进行，测定范围为钒含量不小于1x1013cm-3c。
碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法标准号为GB/T 41153-2021，发布日期：2021-12-31、实施日期：2022-07-01，所属行业分类冶金。
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