本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
本标准适用于生产电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。
碳化硅单晶抛光片标准号为GB/T 30656-2023，发布日期：2023-03-17、实施日期：2023-10-01，所属行业分类电气工程。
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GB/T 30656-2023
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*本标准 GB/T 30656-2023 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。