本标准规定了利用熔融氢氧化钾腐蚀法测定碳化硅单晶微管密度的方法。此标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。
碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法标准号为GB/T 30868-2014，发布日期：2014-07-24、实施日期：2015-02-01，所属行业分类电气工程。
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GB/T 30868-2014
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*本标准 GB/T 30868-2014 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。