内容简要 本文件根据碳化硅单晶的材料性能特点，并结合目前国内碳化硅晶体质量检测技术的研究水平，对碳化硅单晶摇摆曲线的测量原理、测量精度保障、测量步骤等内容作出了规定。本文件的主要结构和内…
碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法标准号为T/IAWBS 016-2022，发布日期：2022-03-17、实施日期：2022-03-24，所属团体名称为中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟。
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T/IAWBS 016-2022
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*本标准 T/IAWBS 016-2022 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。