本标准规定了4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片的微管密度的无损检测方法。此标准适用于4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片经单面抛光或双面抛光后、微管的径向尺寸在一微米至几十微米范围内的微管密度的测量。
碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法标准号为GB/T 31351-2014，发布日期：2014-12-31、实施日期：2015-09-01，所属行业分类冶金。
本文网址：https://www.171zz.com/document/274803.html
GB/T 31351-2014
下载需要10积分，会员免费下载。
*本标准 GB/T 31351-2014 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。