本标准规定了碳化硅单晶抛光片的平整度,即总厚度变化(TTV)、局部厚度变化(LTV)、弯曲度(Bow)、翘曲度(Warp)的测试方法。 此标准适用于直径为50.8mm、76.2mm、100mm,厚度0.13mm~1mm 碳化硅单晶抛光片平整度的测试。
碳化硅单晶片平整度测试方法标准号为GB/T 32278-2015，发布日期：2015-12-10、实施日期：2017-01-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 32278-2015
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*本标准 GB/T 32278-2015 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。