内容简要 本标准规定了气相沉积法碳化硅涂层（以下简称碳化硅涂层）的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于以甲基三氯硅烷和氢气为主…
气相沉积法碳化硅涂层标准号为T/CNIA 0011-2019，发布日期：2019-02-13、实施日期：2019-06-01，所属团体名称为中国有色金属工业协会。
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T/CNIA 0011-2019
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*本标准 T/CNIA 0011-2019 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。